山东新一代标准化研究院

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近日，山东省科技厅公布了2022年山东省科技型中小企业创新能力提升工程拟立项项目名单，经过立项公示，山东新一代标准化研究院联合山东省计算中心（国家超级计算济南中心）申报的“浸没式光刻机用非接触式高精度超声流量检测装置研制”项目已成功获得立项。

本项目通过对浸入式光刻机使用的超纯水的超声流量测量装置进行研发，可以实现光刻机重要部件的国产化，充分支撑国内光刻机的开发工作，改变目前主要依赖国外进口设备的现状，在关键部件上实现自主可控，保障国内产业链和供应链安全，同时进一步减少光刻机建造成本，尽快缩小我国芯片制造业与先进国家之间的差距，助力我国集成电路产业的发展。

多年来，新一代标准化研究院瞄准智能流量仪表研发，引进专家团队专门组建了物联网仪表开发实验室，经过多年积累先后开发了液体涡轮流量计、气体涡轮流量计和旋进旋涡流量计以及超声流量计，该系列流量计使用了工业互联网标识解析技术，相关精度和指标达到了国内领先水平。

未来，相信在山东省计算中心（国家超级计算济南中心）、齐鲁工业大学（山东省科学院）等合作科研单位的支持下，研究院坚持以研发创新为主要发展驱动力，不断突破物联网数据采集关键核心技术，为我国智能流量计的性能提升做出卓越贡献！

我院申报的2022年省科技型中小企业创新能力提升工程项目成功立项